本研究方向以教育部新世纪优秀人才支持计划郭航教授、洪永强教授为学科带头人，有厦门大学特聘教授孙道恒博士等博士生导师，同时聘请国家高层次人才短期创新类人才林立伟博士等讲座教授。本方向重点开展非硅特别是聚合物微纳米器件、制造工艺与装备的研究与开发。非硅微纳系统制造技术是制造无法利用CMOS生产的结构、器件与系统的技术，如柔性、大面积器件、非硅材料（高分子/有机、金属等）微纳构件、纳米线/管等结构、生物兼容结构与器件等的制作、操纵与集成工艺技术与装备。承担有国家863、 国家自然科学基金重点项目、教育部科技创新重大培育项目、省市重点项目。完成了高精密陀螺仪、高温压力传感器、高精度加速计等多款微纳传感器件的开发，有多款产品已经获得军方认可实现产品化生产。